名稱：德國超聲波掃描顯微鏡

產品介紹：

名稱：德國超聲波掃描顯微鏡

型號：V-400E

產地：德國

應用：晶圓面處分層缺陷；錫球、晶圓、或填膠中的開裂；晶圓的傾斜；各種可能之孔洞（晶圓接合面、錫球、填膠…等）

產品應用：

聲掃顯微鏡應用領域：

• 半導體電子行業(yè)：半導體晶圓片、封裝器件、大功率器件IGBT、紅外器件、光電傳感器件、SMT貼片器件、MEMS等;
• 材料行業(yè)：復合材料、鍍膜、電鍍、注塑、合金、超導材料、陶瓷、金屬焊接、摩擦界面等；
• 生物醫(yī)學：活體細胞動態(tài)研究、骨骼、血管的研究等

在失效分析中的應用：

• 晶圓面處分層缺陷
• 錫球、晶圓、或填膠中的開裂
• 晶圓的傾斜
• 各種可能之孔洞（晶圓接合面、錫球、填膠…等）

聲掃顯微鏡的在失效分析中的優(yōu)勢：

• 非破壞性、無損檢測材料或IC芯片內部結構
• 可分層掃描、多層掃描
• 實施、直觀的圖像及分析
• 缺陷的測量及缺陷面積和數量統計
• 可顯示材料內部的三維圖像
• 對人體是沒有傷害的
• 可檢測各種缺陷（裂紋、分層、夾雜物、附著物、空洞、孔洞等）

主要參數：

• -該型號顯微鏡系統是實驗室、研發(fā)和工業(yè)生產線主流機型。
• - 掃描速度可達：2000mm/s
• - 與其它品牌機型相比掃描效率高30%
• - 大掃描范圍：400mm×400mm
• - 小掃描范圍：200μm×200μm
• - 射頻大帶寬：500MHz
• - 新型FCT防誤判探頭

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